研究範疇 Research Fields

研究領域 Research Fields：

• 機械設計 Mechanical Design
• 光機電系統 Opto-mechtronics System
• 光學量測 Optical Metrology
• 微奈米結構製作 Micro/Nano Structure Fabrication

研究項目 Research Topics：

• 精密定位系統設計 Design of Precision Positioning System
• 干涉定位平台 Interferometric Stage
• 精密位移量測 Precision Displacement Measurement
• 雷射干涉術 Laser Interferometry
• 晶圓翹曲度量測 Wafer Bow/Warp Measurement

教授任教課程：

• 微積分 Calculus
• 光學干涉術 Optical Interferometry
• 機械設計  Mechanical Design
• 機械系統設計與實務 Mechanical System Design and Practice