102 級
| 姓名 Name | 研究主題 Research Topic |
| 鄭鼎緯 | 朱冠威 |
| 張耀中 | 汪育正 |
101 級
| 姓名 Name | 研究主題 Research Topic |
| 潘思文 | （多維度幾何誤差量測技術開發） |
| 蔡宇軒 | （晶圓翹曲度量測技術開發） |
100 級
| 姓名 Name | 研究主題 Research Topic |
| 王威程 | （外差光柵干涉術於面內及面外位移量測之研究） |
國際交換生
Takuya KUMAGAI （日本長岡技術科技大學學術交換三個月）
榮譽實驗室之友
| 林翰 Han Lin | 台灣科技大學資管所 科技管理實驗室 |
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